2026年7月24日，蔡司半体制造时间管事部（Carl Zeiss SMT）崇拜阐发，正在其位于德国南部的奥伯科亨厂区新增约2.5万平米的分娩场面及配套附庸空间。当今衡阳隔热条设备厂家家，批职工已于本月迁入栋完了的办公大楼，此时距2022年5月技俩破土动工已历时四年。剩余建树将按筹画分阶段连续请托投用。

现阶段，奥伯科亨与韦茨拉尔是当今人人仅有的两处具备ASML光刻机中枢光学镜筒分娩才智的基地，其整机产能的中枢瓶颈恰是蔡司半体制造时间管事部的光学组件产能。对此，蔡司筹画2027年将低数值孔径（Low-NA）EUV 光刻机的产量在2026年约65台的基础上提高约 30。

据荷兰ASML公司所公布的2025年报理解，卡尔蔡司半体制造时间管事部是其透镜、反射镜、照明系统、聚光模块等中枢光学组件的供应商，双签有永恒排他供应左券。2025 年，ASML向蔡司半体制造时间管事部过火子公司的采购总数达44.1亿欧元，依赖度。在这种配景下，若是蔡司面的产能跟不上，ASML 将会受到严重担面冲击，以致可能“法平日开展业务”。

据悉衡阳隔热条设备厂家家，比较之前的低数值孔径光刻机，数值孔径（High-NA）EUV 的光学系统制造难度大幅提高。其投影光学系统包含过 4 万个部件，总重约 12 吨，体积与分量均约为尺度 EUV 光学系统的七倍，配套照明系统另含2.5万个部件，重约6吨。

另外，单块数值孔径反射镜分量达数百公斤，尺寸约为现役 EUV 反射镜的两倍，分量是达到后者的十倍。蔡司面默示，这类反射镜需要进程数月的精密加工，塑料管材设备才能达到EUV光刻所需的纳米精度。而要完成这类端光学系统的能考证，需使用用的大型真空腔室。该腔室尺寸达 5 米 ×10 米，由 10 万个部件组成，总分量过 150 吨。

为绑定中枢供应链、保险组件请托节拍，ASML 永恒通过资金支执助力蔡司扩产。牺牲 2025 年底，ASML 对蔡司半体制造时间管事部的应收贷款余额达 19.1 亿欧元，较上年的 14.4 亿欧元逾越增长；此外还有 11.9 亿欧元的预支款项，项用于保险光学镜筒的请托踏实。

当今双已落地两笔额度为 10 亿欧元的项贷款，分辩签署于 2021 年 9 月与 2024 年 9 月；ASML 还在 2025 年 7 月追加披发 4.44 亿欧元贷款，并于同庚 11 月披发 2.125 亿欧元短期贷款。把柄 2025 年 5 月双校正的框架左券，上述本钱开销类贷款调遣为息贷款，还款期限设为 7 年或 15 年，按季度分期偿还，还款金额与蔡司半体制造时间管事部的营收挂钩浮动。

全体来看，本次奥伯科亨厂区扩产落地，是蔡司破解EUV中枢光学组件产能瓶颈、匹配ASML产能爬坡节拍的要津举措，也逾越夯实了双度绑定的排他供应链面目。跟着低数值孔径EUV产能稳步提高与数值孔径机型冉冉放量，人人制程芯片供给才智将执续，这产能布局也将对人人半体制造的产业面目产滋永恒远影响。

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